◆整體式凈化器、加熱器、絕緣、電子組件
◆ 緊湊型設(shè)計(jì)
◆易于使用
◆從惰性氣體、氫氣、酸性氣體和氧氣中去除雜質(zhì)小于PPB級
◆簡單的操作、可靠和安全性的設(shè)計(jì)、經(jīng)過認(rèn)證的溫度控制單元和電子設(shè)備
◆持續(xù)加熱操作或室溫， 操作方便，現(xiàn)場操作
分析儀器的校準(zhǔn)氣體（零/校準(zhǔn)氣體）
分析儀器
工藝工具
研究與開發(fā)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
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